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晶圓探針臺

名稱:8寸手動探針臺  


1699715748990040.png                型號:EMP-200

             基本特征

             • 可升級探卡,高溫,大功率,射頻等測試。

                • 可選探針卡測試

                • chuck 快速移動(氣浮移動Air-Bearing  技術(shù))

                • 可選顯微鏡氣動升降功能

                • platen 臺面快速升降

                • platen 臺面微調(diào)升降并帶數(shù)顯升降高度顯示

                • 快速裝片并可任意位置鎖定功能

                • 可搭配常規(guī)顯微鏡或金相顯微鏡


名稱:8寸高低溫探針臺


1700025887932910.png         型號:EMP-200-T

              基本特征

          • 支持溫度范圍-60℃到300℃

         • 高性能電磁屏蔽微腔兼容光電及低電流測試  

         • 多點Purge及流量精確控制設(shè)計防止測試結(jié)霜

         • chuck 快速移動(氣浮Air-Bearing 技術(shù))

         • 可選顯微鏡氣動升降功能

         • platen 臺面快速升降

         • 快速裝片并可任意位置鎖定功能

         • 帶拍照、錄像、測量功能


名稱:6寸手動探針臺                                   


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            型號:EMP-150

                 基本特征

              • 兼容6寸晶圓及以下尺寸器件測試

              •  滿足CV、IV、RF測試

              •  四探針微小電阻及100fA微小電流測試

              • 顯微鏡氣動升降功能

              •  platen 臺面快速接觸分離

              • Air-Bearing Stage(氣浮移動技術(shù))

              • 人體工程學設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,穩(wěn)定可靠



名稱:液氮高低溫自動探針臺

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              型號:EVP-LN-100

                 基本特征

                 • 顯微鏡度維度移動,允許不同尺寸器件便捷觀察

                 •  載物臺XYZ電動移動,實現(xiàn)高重復性測試

                 •  探針預接觸功能,保護敏感器件不易被扎壞

                 •  高性能Triax配置,實現(xiàn)fA級低漏電測試

                 • 寬變溫區(qū)間, 85K到500K

                 • 高精度光纖耦合搭配,兼容光電測試




 名稱:4寸手動探針臺         

                        

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               型號:EMP100

                 基本特征

                  • 兼容4寸晶圓及以下尺寸器件測試

                  • 滿足常規(guī)CV、IV測試

                  • 四探針微小電阻測試

                  • 漏電100fA以下微小電流測試

                  • 可升級高溫測試環(huán)境

                  • 人體工程學設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,穩(wěn)定可靠




名稱:PCB雙面測試探針臺


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               型號:EMP200-DS

                 基本特征

                 • 兼容PCB板級器件測試

                 •  支持光電雙面器件、直流雙面器件和RF雙面器件

                 •  高穩(wěn)定性臺體、大范圍探針座移動平臺

                 • 易操作的PCB夾持器、高穩(wěn)定性雙CCD成像系統(tǒng)組成

                 • 支持Theta調(diào)節(jié)的定位器基座,支持擴頻到110GHz

                                 




                  


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